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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。

隔膜泵作为前级泵的优势

1.外观小巧精致，重量小;

2.表面光滑容易清洁;

3.运行异常安静且振动低;

4.根据客户需要，干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;

5.隔膜寿命长，高弹性的纤维增强型FKM隔膜（化学隔膜泵，耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜）;

6.内部气路连接件漏率低，长久运行依然能保持优异的真空性能。

螺杆泵作为前级泵的优势

1.100%无油；

2.无易损件；

3.无磨损；

4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar；

5.一键启动，长期7×24 h稳定运行，维护成本低，无烦恼。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵常见的故障问题：

1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么会发黑？或者多长时间油才会变黑？

3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

4、分子泵轴承为什么会烧毁

5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？

8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，怎么使用才安全？

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

12、分子泵是否对冷却有明确要求？如果风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现什么后果？

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是很佳方式？

14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

15、分子泵叶片破碎的原因？    

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许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI（）的磁场强度甚至会高达3T；尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，并导致电机的功率增大。

由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至1E-3mbar以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

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